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超臨界流体乾燥システム

超臨界流体乾燥法では、CO₂などの流体を用いて、液気界面を形成することなく溶媒を除去するため、毛細管応力を低減し、繊細な微細構造の維持に寄与します。この技術は、先端材料、ライフサイエンス、マイクロエレクトロニクス分野で活用されており、エアロゲルの製造、電子顕微鏡用生物試料の調製、MEMSデバイスの製造などに応用されています。.

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