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超临界流体干燥系统

超临界流体干燥技术利用CO₂等流体去除溶剂，在此过程中不会形成液气界面，从而降低了毛细管应力，有助于保留 delicate 微结构。该技术广泛应用于先进材料、生命科学和微电子学领域，具体应用包括气凝胶制备、电子显微镜用生物样本制备以及MEMS器件制造。.

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