محطة عمل آلية للتجفيف بنقطة الحرجة مخصصة لأنظمة MEMS

محطة عمل آلية للتجفيف بنقطة الحرجة مخصصة لأنظمة MEMS

الطراز: IAL-MD

تُعد FLOSN IAL-MD محطة عمل مقترحة لتجفيف هياكل MEMS التي تم فصلها وعينات أخرى حساسة قائمة على الرقائق. وهي تجمع بين تحميل الكاسيتات الرطبة، والنقل الخاضع للتحكم، وتبادل ثاني أكسيد الكربون السائل، والتجفيف القابل للبرمجة عند نقطة الحرجة، وذلك في منطقة عملية محمية. يركز التصميم على دعم العينات، واحتجاز المذيبات، وسجلات العمليات القابلة للتتبع. يبلغ حجم الرقاقة الأساسي 100 مم؛ أما الأحجام الأكبر فتتطلب غرفة ضغط وتكوين مناولة مختلفين.

اطلب عرض أسعار+852 4666 1024 / +86 18630849305
التصنيف: العلامة التجارية:

FLOSN / ميزات المنتج

ميزات المنتج

6 ميزات

نقل المذيبات المحتجزة

تم تصميم عملية معالجة الكاسيتات بهدف الحفاظ على الرطوبة قبل بدء عملية التجفيف المُحكومة.

تركيبات خاصة بالرقائق

تتوافق الفتحات المحددة ودعامة الحواف مع شكل الرقاقة المحدد دون الإمساك بالهياكل غير المثبتة.

التبادل والتهوية القابلان للبرمجة

تعمل الوصفات على تنسيق تبادل السوائل، والتكييف الحراري، والحفاظ على الضغط، وإزالة الضغط.

حاوية معالجة مزودة بمرشح

تساعد المظلة المزودة بفلتر والسطح القابل للتنظيف على تطوير إجراءات مكافحة التلوث.

أجهزة قفل أمان أوتوماتيكية

يستخدم تسلسل الإغلاق آلية التأكيد عند انعدام الضغط، واستشعار وضع الغطاء، ونظام الوصول المحمي.

دفعات الرقائق القابلة للتتبع

تربط معرّفات الدُفعات بين هوية الكاسيت، ومراجعة الوصفة، وسجل الضغط/درجة الحرارة.

FLOSN / المعلمات الفنية

النموذج والمعلمات

الطراز المختار

CFD-SA500

المواصفات الخاصة بكل طراز
حجم الحجرة
520 مل
ضغط التشغيل
0–2,200 رطل لكل بوصة مربعة
استهلاك الطاقة
1,500 واط
معدل تدفق العادم
0–2 SLPM

الغرفة والعملية

أبعاد الحجرة · القطر الداخلي × العمق (مم)
114.3 × 50.8 ملم
أبعاد الحجرة · القطر الداخلي × العمق (بوصة)
4.5 × 2 بوصة
ضغط التشغيل · ميجا باسكال
0–15.2 ميجا باسكال
أقصى ضغط تشغيل آمن
2,500 رطل لكل بوصة مربعة (17.2 ميجا باسكال)
طريقة التسخين
التدفئة الكهربائية بنظام PTC / التدفئة الكهربائية بالخرطوشة
الأبعاد الكلية · العرض × العمق × الارتفاع
غير محدد
الطراز المختار

CFD-SA1000

المواصفات الخاصة بكل طراز
حجم الحجرة
1,080 مل
ضغط التشغيل
0–2,200 رطل لكل بوصة مربعة
استهلاك الطاقة
1,500 واط
معدل تدفق العادم
0–2 SLPM

الغرفة والعملية

أبعاد الحجرة · القطر الداخلي × العمق (مم)
165.1 × 50.8 ملم
أبعاد الحجرة · القطر الداخلي × العمق (بوصة)
6.5 × 2 بوصة
ضغط التشغيل · ميجا باسكال
0–15.2 ميجا باسكال
أقصى ضغط تشغيل آمن
2,500 رطل لكل بوصة مربعة (17.2 ميجا باسكال)
طريقة التسخين
التدفئة بواسطة السخانات الكرتونية
الأبعاد الكلية · العرض × العمق × الارتفاع
غير محدد
المواصفات المشتركة · جميع الطرازات

سلامة المواد والضغط

مادة الغرفة
SS316L
مواد اختيارية
هاستيلوي C276، إنكونيل 625، مونيل 400، التيتانيوم من الدرجة 2، بطانة من مادة PTFE
نظام أمان الضغط
نظام مراقبة الضغط الإلكتروني مقترنًا بنظام الحماية الميكانيكي للتنفيس في حالة الضغط الزائد

البيئة والمرافق العامة

نطاق درجة حرارة التشغيل
من −30 إلى +60 درجة مئوية
الرطوبة المحيطة أثناء التشغيل
20%–70% RH، غير قابل للتكثف
مصدر الطاقة
120 / 220 فولت تيار متردد، 50–60 هرتز
الاحتياجات من غاز ثاني أكسيد الكربون
توريد ثاني أكسيد الكربون السائل عالي النقاء؛ النقاء الموصى به >99.9%

التبريد والتحكم والترشيح

نظام التبريد
نظام تبريد متكامل ذو حلقة مغلقة؛ حيث تعمل حلقة التبريد الداخلية على تسريع عملية التبريد وتقليل استهلاك ثاني أكسيد الكربون
نظام التحكم
شاشة LCD تعمل باللمس؛ تحكم شبه آلي مع تشغيل بمؤقت قابل للبرمجة ومراقبة إلكترونية عبر المستشعرات
نظام الترشيح
مرشح مزدوج على شكل حرف T، رقم الكتالوج 8785؛ مروران عبر مرشحات بدقة 0.5 ميكرومتر؛ نسبة احتجاز >99.5%

العينات والتوافق الكيميائي

أنواع العينات المتوافقة
العينات البيولوجية، وعينات الفحص المجهري، والهيدروجيل، والهوائيجل، والمواد المسامية، والبوليمرات، وغيرها من المواد الحساسة للهيكل
المذيبات المتوافقة
المذيبات القابلة للامتزاج مع ثاني أكسيد الكربون (CO₂) التي تُستخدم عادةً في تحضير العينات، بما في ذلك الإيثانول والأسيتون والميثانول ومذيبات مختبرية أخرى
تحذير بشأن التوافق الكيميائي
تتطلب المذيبات شديدة الحموضة أو شديدة القلوية أو المؤكسدة أو شديدة السمية إجراء تقييم مسبق للتوافق قبل استخدامها
التكوين القياسي والخيارات

التكوين القياسي

  • غرفة ذات نافذة عرض تعمل بالضغط العالي
  • نظام إضاءة متكامل للغرفة
  • نظام متكامل للتكثيف وفصل الغاز عن السائل
  • نظام غير ميكانيكي لخلط وتبادل ثاني أكسيد الكربون
  • نظام التعبئة والتفريغ البطيء الخاضع للتحكم
  • مقياس تدفق التهوية الدقيق
  • خط إمداد ثاني أكسيد الكربون القياسي المصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ
  • أنابيب عادم مقاومة للكهرباء الساكنة
  • طقم حلقات مانعة للتسرب بديلة
  • مجموعة أدوات التركيب
  • دليل تشغيل المستخدم
  • تقرير اختبار القبول في المصنع
  • الضمان والدعم الفني

التكوينات الاختيارية

  • حاملات العينات القابلة للتبديل
  • ملحقات مخصصة لغرفة العينات
  • وحدة التحريك المغناطيسي
  • تخصيص غرف درجات الحرارة العالية / الضغط العالي
  • تحديث غرفة السبائك المقاومة للتآكل
  • مجموعة حاملات العينات للمجهر

FLOSN / التطبيقات

التطبيقات

FLOSN / الموارد

المستندات / مقاطع الفيديو ذات الصلة