تدعم مسارات التوصيل المزودة بصمامات منفصلة إجراء المعالجات المتتالية باستخدام مواد أولية متوافقة.

تساعد الإعدادات المستقلة لدرجة حرارة الحجرة والمصدر والخط على التحكم في التكثف وضمان اتساق التوزيع.

تساعد ردود فعل الضغط على تحديد مراحل التعرض والتطهير ضمن نطاق تشغيل التفريغ المحدد.

تستوعب الصواني القابلة للإزالة القسائم والعينات الصغيرة ثلاثية الأبعاد بعد إجراء عمليات الفحص والتحقق من المواد.

سجل قيم درجة الحرارة وضغط الحجرة وحالات الصمامات ومدة التعرض من أجل إجراء مقارنات بين العمليات.

تدعم واجهة العادم المخصصة عمليات التجميع والمعالجة المتوافقة، بدلاً من توجيه أبخرة العملية إلى داخل الحاوية.