Poste de travail automatisé de séchage au point critique pour les MEMS

Poste de travail automatisé de séchage au point critique pour les MEMS

Modèle : IAL-MD

The FLOSN IAL-MD is a proposed workstation for drying released MEMS structures and other delicate wafer-based samples. It combines wet cassette loading, controlled transfer, liquid-CO₂ exchange and programmable critical-point drying in a guarded process area. The design emphasizes sample support, solvent retention and traceable process records. Its base wafer format is 100 mm; larger formats require a different pressure chamber and handling configuration.

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FLOSN / CARACTÉRISTIQUES DU PRODUIT

Caractéristiques du produit

6 CARACTÉRISTIQUES

Retained-Solvent Transfer

Cassette handling is designed around maintaining wet conditions before the controlled drying sequence.

Wafer-Specific Fixtures

Defined slots and edge support accommodate the nominated wafer format without gripping released structures.

Programmable Exchange and Venting

Recipes coordinate liquid exchange, thermal conditioning, pressure holds and decompression.

Filtered Process Enclosure

A filtered canopy and cleanable deck support contamination-control development.

Automatic Closure Interlocks

The closure sequence uses pressure-zero confirmation, lid-position sensing and guarded access.

Traceable Wafer Lots

Lot IDs connect cassette identity, recipe revision and pressure/temperature history.

FLOSN / PARAMÈTRES TECHNIQUES

Modèle et paramètres

MODÈLE SÉLECTIONNÉ

CFD-SA500

Caractéristiques propres à chaque modèle
Volume de la chambre
520 ml
Pression de service
0 à 2 200 psi
Consommation électrique
1 500 W
Débit des gaz d'échappement
0 à 2 SLPM

Chambre et fonctionnement

Dimensions de la chambre · Diamètre intérieur × profondeur (mm)
114,3 × 50,8 mm
Dimensions de la chambre · Diamètre intérieur × profondeur (pouces)
4,5 × 2 pouces
Pression de service · MPa
0–15,2 MPa
Pression maximale de service admissible
2 500 psi (17,2 MPa)
Méthode de chauffage
Chauffage électrique PTC / Chauffage électrique à cartouche
Dimensions hors tout · L × P × H
Non précisé
MODÈLE SÉLECTIONNÉ

CFD-SA1000

Caractéristiques propres à chaque modèle
Volume de la chambre
1 080 ml
Pression de service
0 à 2 200 psi
Consommation électrique
1 500 W
Débit des gaz d'échappement
0 à 2 SLPM

Chambre et fonctionnement

Dimensions de la chambre · Diamètre intérieur × profondeur (mm)
165,1 × 50,8 mm
Dimensions de la chambre · Diamètre intérieur × profondeur (pouces)
6,5 × 2 pouces
Pression de service · MPa
0–15,2 MPa
Pression maximale de service admissible
2 500 psi (17,2 MPa)
Méthode de chauffage
Chauffage par cartouche chauffante
Dimensions hors tout · L × P × H
Non précisé
Caractéristiques communes · tous les modèles

Matériaux et sécurité en matière de pression

Matériau de la chambre
SS316L
Matériel facultatif
Hastelloy C276, Inconel 625, Monel 400, titane de grade 2, revêtement en PTFE
Système de sécurité contre la pression
Surveillance électronique de la pression associée à une protection mécanique contre les surpressions

Environnement et services publics

Plage de températures de fonctionnement
de −30 à +60 °C
Humidité ambiante en fonctionnement
20%–70% RH, sans condensation
Alimentation électrique
120 / 220 V CA, 50–60 Hz
Besoins en CO₂ gazeux
Approvisionnement en CO₂ liquide de haute pureté ; pureté recommandée > 99,91 TP3T

Refroidissement, régulation et filtration

Système de refroidissement
Refroidissement intégré en boucle fermée ; la boucle interne du refroidisseur accélère le refroidissement et réduit la consommation de CO₂
Système de commande
Écran tactile LCD ; commande semi-automatique avec minuterie programmable et surveillance par capteurs électroniques
Système de filtration
Filtre en T double, réf. 8785 ; deux passages à travers des filtres de 0,5 μm ; taux de rétention > 99,51 TP3T

Échantillons et compatibilité chimique

Types d'échantillons compatibles
Échantillons biologiques, échantillons destinés à l'examen microscopique, hydrogels, aérogels, matériaux poreux, polymères et autres matériaux sensibles à la structure
Solvants compatibles
Les solvants miscibles au CO₂, couramment utilisés dans la préparation des échantillons, notamment l'éthanol, l'acétone, le méthanol et d'autres solvants de laboratoire
Avertissement concernant la compatibilité chimique
Les solvants fortement acides, fortement alcalins, oxydants ou hautement toxiques doivent faire l'objet d'une évaluation préalable de leur compatibilité avant toute utilisation.
Configuration standard et options

Configuration standard

  • Chambre à fenêtre d'observation haute pression
  • Système d'éclairage intégré de la chambre
  • Système intégré de condensation et de séparation gaz-liquide
  • Système non mécanique de mélange et d'échange de CO₂
  • Système de remplissage et de purge lents et contrôlés
  • Débitmètre de précision pour évents
  • Conduite d'alimentation en CO₂ standard en acier inoxydable
  • Tuyau d'échappement antistatique
  • Kit de joints toriques de rechange
  • Kit d'outils d'installation
  • Manuel d'utilisation
  • Rapport d'essais de réception en usine
  • Garantie et assistance technique

Configurations en option

  • Porte-échantillons interchangeables
  • Inserts sur mesure pour chambres d'échantillonnage
  • Module d'agitation magnétique
  • Personnalisation de chambres haute température / haute pression
  • Modernisation de la chambre en alliage résistant à la corrosion
  • Kit de supports d'échantillons pour microscopie

FLOSN / APPLICATIONS

Applications

FLOSN / RESSOURCES

Documents / Vidéos associés