气相硅烷化系统

气相硅烷化系统

型号： VPS-SI

FLOSN VPS-SI 是一种拟议的实验室工具，用于利用选定的挥发性有机硅烷前驱体进行表面处理。加热真空室、预处理的前驱体输送系统以及惰性气体吹扫功能，为方法开发提供了受控的环境。该平台可容纳试片、小型基材以及符合要求的多孔样品，并配有根据其几何形状选定的可拆卸夹具。.

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FLOSN / 产品特点

产品特点

6 大特点

两条前体线

采用独立阀控的输送路径，支持使用兼容的前体进行顺序处理。.

调湿蒸汽通道

独立的腔室、进料源和输送管路温度设置有助于控制冷凝现象并确保输送的一致性。.

绝对压力控制

压力反馈可在选定的真空工作范围内支持预设的暴露和吹扫阶段。.

柔性样品夹具

可拆卸托盘可在完成取样和材料检查后，用于存放优惠券和小尺寸的三维样品。.

配方和曝光记录

记录温度、腔室压力、阀门状态和曝光时间，以便进行工艺比较。.

封闭式吹扫与排气

专用的排气接口支持对工艺蒸汽进行兼容的捕集和处理，而非将其排放到机柜内。.

FLOSN / 技术参数

模型与参数

选定型号

CFD-SA500

各车型具体规格
腔室容积
520 毫升
工作压力
0–2,200 psi
功耗
1,500 瓦
废气流量
0–2 SLPM

腔室与操作

腔室尺寸 · 内径 × 深度（毫米）
114.3 × 50.8 毫米
腔室尺寸 · 内径 × 深度（英寸）
4.5 × 2 英寸
工作压力 · MPa
0–15.2 MPa
最大安全工作压力
2,500 psi（17.2 MPa）
加热方法
PTC电加热 / 筒式电加热
整体尺寸 · 宽 × 深 × 高
未指定
选定型号

CFD-SA1000

各车型具体规格
腔室容积
1,080 毫升
工作压力
0–2,200 psi
功耗
1,500 瓦
废气流量
0–2 SLPM

腔室与操作

腔室尺寸 · 内径 × 深度（毫米）
165.1 × 50.8 毫米
腔室尺寸 · 内径 × 深度（英寸）
6.5 × 2 英寸
工作压力 · MPa
0–15.2 MPa
最大安全工作压力
2,500 psi（17.2 MPa）
加热方法
卡式加热器加热
整体尺寸 · 宽 × 深 × 高
未指定
选定型号

CFD-SA1800

各车型具体规格
腔室容积
1,860 毫升
工作压力
0–2,200 psi
功耗
2,000 瓦
废气流量
0–0.5 SLPM

腔室与操作

腔室尺寸 · 内径 × 深度（毫米）
215.9 × 50.8 毫米
腔室尺寸 · 内径 × 深度（英寸）
8.5 × 2 英寸
工作压力 · MPa
0–15.2 MPa
最大安全工作压力
2,500 psi（17.2 MPa）
加热方法
卡式加热器加热
整体尺寸 · 宽 × 深 × 高
未指定
通用规格 · 所有型号

材料与压力安全

腔室材料
SS316L
可选材料
哈氏合金 C276、因科镍 625、蒙乃尔 400、2 级钛、聚四氟乙烯衬里
压力安全系统
电子压力监测与机械式超压泄压保护相结合

环境与公用事业

工作温度范围
−30 至 +60 °C
工作环境湿度
2020TP3T–70% RH，无冷凝
电源
120 / 220 V 交流电，50–60 Hz
二氧化碳气体需求量
高纯度液态二氧化碳供应；推荐纯度＞99.9%

冷却、控制与过滤

冷却系统
集成闭环冷却系统；内部冷水机组回路可加速冷却并降低二氧化碳消耗
控制系统
液晶触摸屏；半自动控制，配备可编程定时器功能和电子传感器监测
过滤系统
双T型过滤器，产品编号8785；经0.5微米滤膜过滤两次；>99.5%截留率

样品与化学兼容性

兼容的样本类型
生物样本、显微镜样本、水凝胶、气凝胶、多孔材料、聚合物及其他对结构敏感的材料
兼容溶剂
样品制备中常用的与二氧化碳互溶的溶剂，包括乙醇、丙酮、甲醇及其他实验室溶剂
化学相容性警告
强酸性、强碱性、氧化性或剧毒溶剂在使用前必须进行相容性评估
标准配置与选配

标准配置

  • 高压观察窗腔室
  • 集成腔室照明系统
  • 集成式冷凝与气液分离系统
  • 非机械式二氧化碳混合与交换系统
  • 可控的缓慢充气和排气系统
  • 精密通风流量计
  • 标准不锈钢二氧化碳供应管路
  • 防静电排气管
  • O型圈密封件替换套件
  • 安装工具套装
  • 用户操作手册
  • 工厂验收测试报告
  • 保修与技术支持

可选配置

  • 可互换样品架
  • 定制样品室内胆
  • 磁力搅拌模块
  • 高温/高压腔体的定制
  • 耐腐蚀合金腔室升级
  • 显微镜样品夹具套装

FLOSN / 应用

应用

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